半导体行业的废气处理
时间:2022-08-08 10:00 来源:未知
  半导体行业的废气处理 
  随着科技的发展,目前市场上新材料行业与传统材料相比,其应用范围更广了,新材料产业的研究与开发投入高,产品的附加值高在生产与市场的***际性强,而且新材料半导体行业的发展前景***。 
 
  而新材料半导体行业在加工的过程中采用清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂,这些溶剂中含有***量的有机物成分,在整个工艺加工的过程中将会有部分的有机溶剂***部分通过挥发成为废气排放,这部分挥发的废气主要成分为具有挥发性的VOCs,下面讲解一下关于:新材料半导体行业的废气应该怎么处理。
 
  新材料半导体行业的废气除了含有VOCs以外,还混有HCl、氨、HF等危险污染物,宏森环保采用的是RTO蓄热式焚烧炉来处理半导体行业的废气:
 
  工业废气中主要含有酸性气体、碱性气体、有机废气和有毒气体四种,自身具有的溶解***性,半导体工业的气体虽然排放量***,但是气体的浓度低。
 
  RTO设备采用的是高温破坏焚烧的废气治理技术,升温能源一般是电和天然气,其高温需高达700度或者以上,虽然温度需高达700度左右,但是其实消耗的能源并不多,设备运行期间部分的热能是能够回收重新利用的,降低能量消耗的同时提高了废气分子的燃烧反应速率。